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星源科技在相继突破MDP-EUV光源、收集镜系统的技术壁垒后，瞬间成了科研界的香饽饽。
就连一些六七十岁的资深工程师也想毛遂自荐，希望可以参与其中。
陈延森并不介意“分蛋糕”，但前提得拿出...
“蔡司镀膜机的精度,在恒温恒湿环境下,确实能控制在0.05到0.1纳米之间。”设备组主任工程师回答得十分肯定。
“那问题来了。”陈延森沉声说道,“既然设备能达标,那为什么每次沉积完10层后,误差还是会有0.12到0.15纳米的波动?”
会议室陷入短暂的沉默。
“可能是沉积过程中的热应力变化导致的。”材料组的工程师推测道,“每次激光沉积都会产生局部热效应,影响后续膜层的附着均匀性。”
“那有没有办法在沉积过程中实时调整激光功率?”陈延森追问。
“理论上可以。”算法组的负责人点头,“但我们得先建立一个足够精确的反馈模型,实时采集镀膜机的数据,动态调整激光参数。”
“那就做。”陈延森果断拍板,“你们算法组牵头,设备组和材料组配合,三天内拿出一个初步的闭环控制方案。”
“三天?”算法组负责人有些迟疑,“这个模型的复杂度很高,数据量也很大……”
“我知道很难。”陈延森语气坚定,“但我们现在没时间慢慢磨。如果这个模型能成功,我们就能把沉积误差控制在0.05纳米以内,整个梯度涂层的工艺就能达到汪象朝提出的标准。”
“明白。”算法组负责人咬了咬牙,“我们拼一把。”
会议继续进行。
“关于冷管理子系统。”陈延森翻到技术文档的下一页,“文档中提到在镜体内部嵌入微通道水热结构,搭配钼合金基底,能有效解决低温损伤问题。这个方案的可行性如何?”
“我们已经做过初步模拟。”光学部的热控工程师回答,“水热通道的设计非常巧妙,水流路径呈螺旋状,既能均匀散热,又不会对镜体结构造成应力破坏。”
“那钼合金基底呢?”
“我们联系了中科院金属所,他们可以提供符合要求的钼合金样品。不过……”工程师顿了顿,“加工难度很大,需要纳米级的精密加工设备。”
“联系一下华科协会沈阳自动化所。”陈延森说,“他们那边有几台超精密五轴机床,应该能搞定。”
“好。”
“还有一个问题。”陈延森指着文档中的电磁场碎屑减急系统部分,“这个系统是用来减少等离子体碎屑对少层膜的冲击的,对吧?”
“没错。”热控工程师点头,“等离子体激发过程中会产生大量碎屑粒子,高速撞击镜面,会导致少层膜损伤。这个电磁场系统可以在碎屑接近镜面时将其偏转,起到保护作用。”
“那这个系统的能耗会不会太高?”
“文档中已经做了优化,使用脉冲式电磁场,能耗控制在可接受范围内。”
“很好。”陈延森合上文档,目光扫过会议室里的众人,“这套方案,几乎涵盖了我们当前面临的所有技术难题,而且每一个环节都有详细的设计和参数。你们觉得,这真的是林南一个人能独立完成的吗?”
众人面面相觑。
“我觉得……不太可能。”设备组主任工程师低声说,“除非他背后有整个顶尖团队的支持。”
“我也不信。”材料组的工程师皱眉,“这种级别的技术方案,至少需要十年以上的EUV光学经验,而林南才多少年资历?”
“那你们觉得是谁?”陈延森问。
“……汪象朝。”光学部的主任工程师迟疑地说出这个名字。
会议室里一片沉默。
“汪象朝已经失踪很久了。”费学低声说,“他上次发邮件说要去闭关,然后就再也没消息了。”
“但你们有没有想过。”陈延森缓缓开口,“如果汪象朝真的在闭关,而他闭关的内容,就是EUV光学系统的核心技术攻关呢?”
“……”
“不管这套方案是谁写的,我们现在要做的是尽快复现它。”陈延森站起身,语气坚定,“我给你们一个礼拜的时间,必须完成镀膜工艺的闭环控制模型、冷管理子系统的初步搭建,以及电磁场碎屑减急系统的实验验证。”
“是!”
众人纷纷起身,迅速散去,投入到紧张的实验和建模工作中。
与此同时,林南的办公室里。
他坐在电脑前,盯着那封加密邮件,久久没有动弹。
“……少壳层掠入射椭圆收集镜系统。”
他喃喃自语,眼中满是震惊与敬畏。
这不仅仅是一套光学系统方案,更像是一本EUV光学的“圣经”。
每一个参数、每一个设计、每一个工艺步骤,都精准到极致。
“这……根本不是人类能短时间内完成的。”林南喃喃道,“除非……他拥有某种超越常人的计算能力。”
他忽然想起汪象朝曾经说过的一句话:
“有时候,不是我们不够聪明,而是我们的时间不够用。”
林南猛地站起身,快步走向窗边,望着远处正在调试的EUV光源实验室。
“你到底……藏在哪里?”
他低声问道。
而就在此时,星源科技总部大楼的地下实验室中。
汪象朝静静地坐在一台量子计算机前,额头上布满冷汗。
他的双眼紧闭,仿佛在经历某种极端的精神负荷。
在他的意识中,无数复杂的数学模型、光学路径、材料参数正在飞速运算。
“【普朗克时钟】??启动。”
他轻声呢喃,整个人仿佛陷入了一种超越时间的思维状态。
在这个状态下,一秒被无限细分,思维速度被压缩到极致。
他正在推演整个EUV光学系统的运行轨迹。
每一道光线的反射角度,每一层膜的厚度误差,每一个电磁场的扰动变化……
他要确保这套方案,万无一失。
“……完成了。”
不知过了多久,汪象朝睁开眼,眼中闪过一抹疲惫。
他轻轻敲下键盘,将最终的参数模型加密,发送到林南的邮箱。
“希望他们能跟上节奏。”他低声说。
与此同时,陈延森的手机震动了一下。
他打开邮箱,看到一封来自“未知来源”的邮件。
标题只有一个词:
【下一步】
“汪象朝真的回来了？”林南盯着那封加密邮件，指尖微微发颤。
他迅速点开附件，发现里面不仅有“少壳层掠入射椭圆收集镜系统”的完整技术文档，还附带了一套全新的光学路径优化方案??《基于非对称椭圆镜面的多级聚焦算法》。
“这……”林南瞳孔微缩，心跳加快。
这套算法的复杂程度，远超他之前见过的任何光学模型。它不仅考虑了EUV光的多级反射路径，还引入了一种全新的“动态补偿机制”，可以在光路中自动调整镜面角度，以应对微米级偏差带来的光束偏移。
“这不可能是林南能独立完成的。”他喃喃自语，“除非……”
他猛地站起身，冲向办公室门口，却被费学拦住了去路。
“你去哪？”费学皱眉。
“我要去找陈延森。”林南语气急促，“这套方案……不是我们能想出来的。一定是汪象朝。”
费学神色一震，随即点头：“走吧。”
两人匆匆赶往星源科技总部，直奔陈延森的办公室。
与此同时，陈延森正盯着那封神秘邮件，眉头紧锁。
“【下一步】？”
他点开附件，发现里面不仅有新的光学优化方案，还有一张极为详细的实验计划表，甚至包括了接下来一周内所有关键节点的时间安排。
“这份计划……”陈延森倒吸一口凉气，“它不仅预判了我们的研发进度，还给出了最优化的推进路径。”
他迅速拨通了汪象朝的私人加密号码。
“嘟??嘟??嘟??”
电话无人接听。
“果然还是联系不上。”陈延森叹了口气，正准备挂断，却听到电话那头传来一个低沉而冷静的声音。
“陈延森，我给你三分钟。”
是汪象朝！
“你到底在哪？”陈延森急切地问。
“别问我在哪。”汪象朝淡淡道，“你现在只需要记住一件事??你们必须在七天内完成‘少壳层掠入射椭圆收集镜系统’的原型机搭建，并完成首次光束汇聚测试。”
“可……这太赶了！”陈延森一惊，“我们连镀膜工艺的闭环控制模型都还没完全调试好。”
“那就加快进度。”汪象朝语气不容置疑，“时间不多了。我知道你对这套方案有疑问，但你要相信??它不是我一个人的成果，而是整个团队的智慧结晶。”
“团队？”陈延森愣住，“可你不是一个人闭关了吗？”
“我闭关的不是技术，而是思维。”汪象朝轻声道，“我在用【普朗克时钟】模拟整个光学系统的运行轨迹，用一秒钟的时间，推演了你们未来三个月的工作。”
陈延森心头一震。
他知道汪象朝拥有“超频思维”能力，但没想到……竟恐怖如斯！
“七天。”汪象朝重复了一遍，“如果你们能在七天内完成测试，我就会现身。”
电话挂断。
陈延森呆立原地，良久才回过神来。
“林南，费学，你们来了。”他抬头看向门口。
“我们有太多问题要问。”林南快步走进来，语气坚定，“这套方案，真的是汪象朝写的？”
“是。”陈延森点头，“而且……他让我们七天内完成原型机测试。”
“七天？”费学瞪大眼，“这不可能！”
“可他做到了。”陈延森深吸一口气，“我们必须相信他。”
林南沉默片刻，缓缓点头：“好，我信他。”
费学咬咬牙：“我也信。”
“那就开始吧。”陈延森站起身，眼中燃起战意，“七天后，我们必须完成测试。”
实验室里，众人迅速进入战斗状态。
设备组开始调试镀膜机的闭环控制系统，算法组优化膜厚监测程序，材料组调整铝硅膜的沉积参数，光学组则开始搭建原型机的反射镜系统。
时间，一分一秒地流逝。
七天后，庐州星源科技研发中心。
“少壳层掠入射椭圆收集镜系统原型机，准备就绪。”林南站在控制台前，声音微微发颤。
“开始测试。”陈延森下令。
激光启动，EUV光源被激发，13.5纳米的光束沿着预设路径，穿过真空环境，最终被椭圆收集镜系统精准汇聚。
屏幕上，光斑的聚焦效果清晰可见，能量分布均匀，收集效率达到82%！
“成功了……”费学喃喃道。
“真的成功了！”林南激动地握紧拳头。
就在这时，实验室的门缓缓打开。
一道身影走了进来。
“汪象朝！”陈延森猛然起身。
众人纷纷转头，只见汪象朝一身黑衣，神情平静，眼中却藏着一丝疲惫。
“你们比我预期的快了十二小时。”他淡淡一笑，“看来，我低估了你们。”
“你到底……是怎么做到的？”林南忍不住问。
汪象朝没有回答，只是轻轻一笑。
“现在，真正的挑战才刚刚开始。”他望向屏幕，“接下来，我们要攻克的，是整个EUV光刻机最核心的技术??调平调焦系统。”
众人一震。
“调平调焦？”陈延森心中一紧，“那可是光刻机的‘眼睛’。”
“没错。”汪象朝点头，“而我要做的，是让它，比任何一台光刻机都更‘看得清’。”
他缓缓走向控制台，目光深邃。
“接下来，我们来设计‘超精密调焦镜组’。”
实验室里，众人屏息凝神。
他们知道，真正的风暴，才刚刚开始。
